坩堝是什麼？坩鍋用途有哪些？

坩鍋是應(yīng)用於OLED 面板製造上的蒸鍍製程，蒸鍍製程是OLED製程的重要關(guān)鍵技術(shù)，而蒸鍍?cè)O(shè)備難以取得，也成為了門檻。在真空的chamber中、將欲蒸鍍的材料放在坩鍋裡，加熱直至汽化昇華，並使此氣體附著於放置在附近的基板表面上、形成一層薄膜。而坩鍋好壞也成了製程良率的重要關(guān)鍵，選用到不適合的坩鍋，會(huì)造成坩鍋裡的材料蒸鍍不完全，達(dá)不到設(shè)備要求的沸點(diǎn)，無(wú)法附著在基板表面上，如果遇到這種情況不僅浪費(fèi)時(shí)間、人力，蒸鍍材料無(wú)法有效應(yīng)用，不僅造成材料浪費(fèi)，且製程良率變差，有時(shí)必須重新來(lái)過，增加公司的原物料成本負(fù)擔(dān)，所以擁有品質(zhì)優(yōu)秀的坩鍋就是成功的一半。
 

坩堝有哪些材質(zhì)可以選擇？

Ta (鉭)

鉭是一種堅(jiān)硬藍(lán)灰色的稀有過渡金屬，它具高延展性、可耐高溫、化學(xué)穩(wěn)定性高，不與其他化合物質(zhì)發(fā)生反應(yīng)?？赡望}酸, 硝酸, 具有優(yōu)秀的耐酸性。能抵抗酸的腐蝕，抗腐蝕能力極強(qiáng)，在150 °C以下甚至能夠抵抗王水的侵蝕。它屬於難熔金屬，常作為合金的次要成份。其化學(xué)活性低，鉭的熔點(diǎn)高，且能抵禦氧化，所以可作真空蒸鍍部件的坩鍋材料。許多抗腐蝕部件都需要用到鉭。
 

Graphite 特種石墨

石墨（graphite）是一種結(jié)晶形碳。顏色有深黑色，鐵墨色至深灰色。溶點(diǎn)3652℃、沸點(diǎn)4827℃。質(zhì)軟、表面細(xì)骨、可導(dǎo)電?；瘜W(xué)性質(zhì)不活潑、耐腐蝕，與酸、鹼等不易反應(yīng)。常常被拿來(lái)製作成坩堝，石墨坩鍋可以防止液體及氣體滲透，可耐高溫，抑制粉塵產(chǎn)生，耐磨性提高。
 

PBN 熱解氮化硼

熱解氮化硼（PBN）屬於六方晶系，品顏色是象牙白色，無(wú)毒，為先進(jìn)陶瓷材料，純度可以達(dá)到99.999%，耐酸鹼，抗氧化，導(dǎo)熱性好，表面緻密好，需高溫，無(wú)孔隙、易加工。它在高溫、高真空條件下，由氨和硼的鹵化物進(jìn)行化學(xué)氣相沉積（CVD）而成，既可以製備PBN板材，也可以直接製備坩堝。
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坩鍋材質(zhì)差異比較表 

坩堝挑選重點(diǎn)

這邊分享挑選坩堝的幾個(gè)重點(diǎn)，這些都會(huì)影響坩鍋內(nèi)的材料使用率。如何讓材料真正使用在OLED基板上，是每位使用者最在乎的，以下為您介紹：
 

重點(diǎn)1：坩堝的容量、尺寸和形狀

OLED 坩鍋使用的形狀大多為圓柱狀，也有像長(zhǎng)方型盒狀，依據(jù)容量不同，尺寸也不一樣。OLED 坩鍋容量有100ml 到500ml 都有，我們可以依據(jù)客戶要求客製化，最常遇到是將現(xiàn)有的坩鍋容量加大，可以放較多材料蒸鍍，有時(shí)也會(huì)變更形狀，可以改善坩鍋的噴發(fā)口，防止在高溫情況下，蒸鍍材料的洩漏。
 

重點(diǎn)2：熔化的有機(jī)材料，特定金屬

依據(jù)蒸鍍製程不同，所使用的蒸鍍材料也不相同，一般 OLED蒸鍍製程會(huì)使用到有機(jī)材料與金屬材料。
 

重點(diǎn)3：使用溫度，真空度

依據(jù)蒸鍍材料不同，可以配合的坩鍋也不一樣，因?yàn)橐郎氐讲牧弦蟮姆悬c(diǎn). 並不是每個(gè)材質(zhì)的坩鍋可以配合，依據(jù)材料特性選擇合適的坩堝，可以將材料充份蒸鍍，並附著在基板表面上，這就是成功的一半。

重點(diǎn)4：坩堝材質(zhì)的密度，導(dǎo)熱率

蒸鍍製程中，就算選用合適的材質(zhì)，但同樣材質(zhì)的坩鍋，也可細(xì)分很多種材質(zhì)，所以不同廠家因使用不同材質(zhì)，就算是同形狀的坩鍋，製做出的密度與導(dǎo)熱率，也不盡相同，這也影響是否可以將材料，充份蒸鍍?cè)谥匾?，挑的好的坩堝，OLED蒸鍍製程就成功一半，坩鍋常見的材質(zhì)以及挑選方式，幫助你更好挑選出適合的坩堝，我們提供Ti(鈦)、石墨坩鍋、PBN三種材質(zhì)可以選擇，可以依據(jù)您的需求客製化生產(chǎn)，我們擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)與實(shí)績(jī)，與日本ULVAC, Tokki , 韓國(guó)SUNIC, SELCO設(shè)備可以搭配使用，並與許多大廠牌客戶合作，我們的經(jīng)營(yíng)理念：重品質(zhì)、優(yōu)化基板表面上。

結(jié)論

內(nèi)行人都知道坩鍋很重要，挑的好的坩堝，OLED蒸鍍製程就成功一半，坩鍋常見的材質(zhì)以及挑選方式，幫助你更好挑選出適合的坩堝，我們提供Ti(鈦)、石墨坩鍋、PBN三種材質(zhì)可以選擇，可以依據(jù)您的需求客製化生產(chǎn)，我們擁有豐富的經(jīng)驗(yàn)與實(shí)績(jī)，與日本ULVAC, Tokki , 韓國(guó)SUNIC, SELCO設(shè)備可以搭配使用，並與許多大廠牌客戶合作，我們的經(jīng)營(yíng)理念：重品質(zhì)、優(yōu)化客戶現(xiàn)有產(chǎn)品的性能、在地化即時(shí)服務(wù)，提供OLED 領(lǐng)域中會(huì)使用的PBN坩鍋,、Ti(鈦)坩鍋、 石墨坩鍋，如有OLED坩鍋服務(wù)需要，請(qǐng)聯(lián)絡(luò)我們。